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制造玻璃微流控芯片的简易加工技术

发布时间:2016-03-08 浏览次数:1342

         报道了在普通化学实验室中设计 和加工玻璃微流控芯片的方法。用AdobeIllustrator 8.0软件设计微流控芯片图形 ,通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的 14 5nmCr 5 70nmAz 180 5光胶层作为保护层 ,在 5 0℃刻蚀液 (1mol LHF +1mol LNaF)中 ,刻蚀速度为 2 μm min。通过彻底洗净加工好的玻璃基片 ,提高了芯片热键合的质量和成品率。制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增。